上海芯源微企业发展有限公司成立于2021年2月，是沈阳芯源微的全资子公司。上海公司发展定位为国内高端半导体专用设备研发高地，占地45亩、建筑面积5.4万平方米，配套近万平的高等级洁净厂房、研发办公及活动中心，主要开展28nm及以下高端工艺技术节点的集成电路光刻工艺涂胶显影设备、化学清洗设备及其核心零部件研发及产业化，年产值可达25亿、带动1000人就业。