1. 可兼容处理4英寸及6英寸晶圆且配置灵活
2. 支持两种去胶液摆臂,变速扫描功能
3. 采用“干进干出”的晶圆加工模式
4. 化学液循环再利用、金属回收、多种药液分类排放