产品优势：
1.自主IP的双真空双夹持四手高速机械手，产能高，干湿分离无交叉污染
2. 具有AWC高效图像对中功能
3.采用可多片兼容不同尺寸、不同角度的浸泡系统
4.闭环控制高压管路系统，可实现目标值±0.2MPa的控压精度
5.自主IP的耐高压在线式加热器，可达到国际加热器同等控温
6. 工艺单元采用主动夹持Chuck，可避免晶背划伤及晶圆侧翻
7.去胶液可自动回收，循环使用
