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KS-S200-2H1L 全自动SiC划片裂片一体机

适用钢环尺寸:8 Inch

晶圆尺寸 :200mm(兼容Compatible with 150mm)

最大产能 :20WPH

SiC切割速度 :100mm/s

外形尺寸 : W2730×D2260×H2230 (mm)

产品优势:

整机紧凑设计,占地面积小;

标准化单元尺寸,配置灵活;

高产能,切割速度快 

干法切割,无液体厂务需求;

断面平整,崩边、裂痕少;

无切口损失,更多可切割晶片数


应用领域:

适用于SiC晶圆切割

裂片工艺