产品优势:
1. 机台可采用防静电管路,防止水中静电荷到达晶圆表面,
对图形造成破坏
2. 翻转单元接触点少,减小了与晶圆的接触面积
3. 所有表都为数字显示,数据上传工控机方便追溯
4. 机台优化传输路径,产能大幅提升
5. 软件客制化,界面友好,可按照客户要求更改
6. 更高效的FFU
7. 售后服务:响应快,当地驻厂服务(7X24小时)
8. 支持工厂自动化